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| 溫濕度對(duì)無塵車間的影響 | |
| 發(fā)布時(shí)間：2021/6/23 內(nèi)容編輯：金業(yè)裝飾 閱讀次數(shù)：4221 | |
| 溫濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必須具備的重要條件，相對(duì)濕度是東莞無塵車間運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。近年，在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程，使我們必需承擔(dān)資金和運(yùn)營(yíng)成本。但是為什么要花費(fèi)這么多錢用在無塵車間中控制相對(duì)濕度呢？那是因?yàn)�，如果車間內(nèi)的相對(duì)濕度控制不好，就有可能使無塵車間的總體表現(xiàn)下降，而且還會(huì)帶來一系列的影響。 1、細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對(duì)濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。而相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低。所以無塵車間的相對(duì)濕度需要控制在一定范圍。 2、相對(duì)濕度控制不好，容易造成無塵車間里的金屬腐蝕。很多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對(duì)濕度的增高而加快。所有暴露在車間周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可以使反應(yīng)加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護(hù)型的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)；另一種金屬，例如氧化銅，是不具有保護(hù)作用的。在高濕度的環(huán)境中，銅制表面更容易受到腐蝕。 3、無塵車間相對(duì)濕度控制不好會(huì)出現(xiàn)靜電(是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷)荷。高濕度實(shí)際上減小了東莞無塵車間表面的靜電荷積累，當(dāng)相對(duì)濕度超過50%時(shí)，靜電荷開始迅速消散，但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體車間一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。 4、吸水性。相對(duì)濕度控制不好，對(duì)無塵車間吸水性產(chǎn)出一定的影響。 5、水汽冷凝。在相對(duì)濕度較高的無塵車間環(huán)境中，濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力。這種效應(yīng)稱為凱爾文濃縮，就是當(dāng)相對(duì)濕度小于50%時(shí)并不重要，但當(dāng)相對(duì)濕度在70%左右時(shí)，就成為顆粒之間黏附的主要力量。 6、東莞無塵車間的濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。如果濕度過高會(huì)使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快，從而影響工作。 7、到目前為止，在半導(dǎo)體無塵車間中最迫切需要適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對(duì)相對(duì)濕度極為敏感的特性，它對(duì)相對(duì)濕度的控制范圍的要求是最嚴(yán)格的水準(zhǔn)。實(shí)際上，相對(duì)濕度和溫度對(duì)于光刻膠穩(wěn)定性以及精確的尺寸控制都是很關(guān)鍵的。甚至是在恒溫條件下，光刻膠的粘性將隨著相對(duì)濕度的上升而迅速下降。當(dāng)然，改變粘性，就會(huì)改變由固定組分涂層形成的保護(hù)膜的厚度。參考兩個(gè)城市，一個(gè)試驗(yàn)證實(shí)，相對(duì)濕度的3%的變異將使保護(hù)厚度改變59.2A。 此外，在高的相對(duì)濕度環(huán)境下，由于水分的吸收，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可以受到較高的相對(duì)濕度的負(fù)面影響；較低的相對(duì)濕度(約30%)使光刻膠附著更加容易，甚至不需要聚合改性劑，如六甲基二硅氮烷。 從上述幾個(gè)原因就已經(jīng)可以看出來控制好東莞無塵車間溫濕度有什么作用了，終上所述總結(jié)就是控制無塵車間溫濕度主要的作用就是提高產(chǎn)品的合格率。只有控制好無塵車間的溫濕度，才能使無塵車間更好地發(fā)揮作用。 |
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